知道在超大规模集成电路的工艺中,193n光刻波长的衍射、干涉等光学临近效应会形成致命问题。
她虽然不知道这个修正算法的难度有多大,但想来也会简单。
经过这些日子的了解,林欣可是知道,除了光刻机镜头之外,解决光衍射、干涉等光学临近效应的问题,也是光刻机技术突破的关键因素。
如果光学临近效应这个问题能够解决,28n甚至级别的光刻机技术就又能向前一步了!
国内厂商,苦苦研究十几年而不得的技术,郭一说改进就改进了?
“其实也没有那么难,只要细致观察,仔细推理,这其中的修正方案也并不难实现。”
郭一说道:“无非是改进了一下修正模型,使得建立的光刻模型更加精确、计算速度更快了一点,仅此而已。”
“模型更精确,速度反而更快了,还说仅此而已?”林欣嘟囔道:“真是一个非人类。”
“哈哈!”郭一可是注意到了,林欣说这话的时候,那可是满脸的骄傲神色。
……
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