他们直接就找到了关键点，果然，其中最重要的部分就是对光源校正的改进。

        “常工，这修正算法的改进，比我计算中的数值还要更加精确，我甚至觉得，别说都可以一试！”何兴看着常凯说道。

        “仅从算法来看，5n是没问题。”常凯说着，紧接着摇了摇头：“但这超出193n光源光刻的理论极限了。”

        “常工，我觉得并非如此。”何兴说道：

        “之前我们所言的理论极限，是基于之前的理论，郭工的理论不可以常理度之。

        你看这儿，还有这儿，再加上这儿，这三处，好像延差都大了，但结合在一起，仅从数据上看，你看是多少，我刚算了，竟然是0。

        你可知道，0意味着什么？即便加上实际操作中根本不可能避免的系统误差，这性能，也优化的太多了吧？”

        “你等下，我看看。”这一看不打紧，常凯也直接被惊呆了。

        校正算法在一定程度上可以提高精准度，只不过往常使用的算法都是补偿算法，而补偿算法本身肯定是要失去一定的精准度的。

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