郭一直接了当:“魔都微电子的28n光刻机就要出货了,如果用28n的光刻机是不是就能生产5n的芯片这才是你关心的问题吧?”
“很遗憾,不行。”郭一说道:“我们之所以能用这款光刻机生产,就是因为改进了光源的修正系统。
28n的光刻机光源和这个是一样的,193n深紫外光刻机的极限就是的改进款,我有把握。”
郭一想了想,还是决定实话实说:“5n也不是不行,但确实卡上了极限,良率无法保证不说,功耗也无法压制,是真的不能做。”
于东也听明白了,郭一所言简单来说就是,这款光刻机经过他们的改造,已经与28n光刻机无异了。
就算魔都微电子28n光刻机出货,光源也是和这个一样的,极限就是的那种。
“除非上euv,否则是没办法做真正的5n的。”郭一说道:
“强行去做,只会砸了自己的招牌,我们何不换一种思路去做,为什么非要在做不到的地方死磕呢?”
“嗯?换一种思路?”于东也是一愣,还能有什么思路?
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