“整套系统精密而复杂,控制系统的地位很关键也很重要。
环境的变化,机器运行过程中轻微的震动以及机器长久使用带来的部件的微弱变化都会对光刻精度产生影响,控制系统必须审慎入微的监测各种环境变化从而做出相应的微调整。
同样的193n深紫外光源,也并不算太差的镜头,魔都微电子的光刻机之所以十几年被卡在90n这一节点不得寸进,就是控制系统控制的精密度不够、控制系统对环境微弱变化感知及调整的能力不足造成的。
郭一对软件、对系统的研究确实深入,这个型号光刻机的控制系统经过改造,绝对已经达到了28n甚至14n的精度,在经过多种曝光套刻,的成功也是必然的了。”
“大佬,大佬,分析的头头是道,但是我没看懂。”
“我也不懂,但不懂并不影响我热血沸腾啊!我激动的一个滑铲……”
“3n啊,想想都激动!就是不知道郭大神会不会跟魔都微电子合作,如果那样的话,我们的euv很快就会出来!”
“难啊!极紫外光刻机的两大核心部件,极紫外光源全球只有某国一家和捣国一家共两家公司能够提供,各种高精密反射镜等光学元器件更是只有一家卡尔蔡司能够提供,这些东西,我们都没有,也买不来。即便能解决控制系统,还有这两核心问题没法解决呢。”
“想那么多干什么,难不难的,那不是我等该操心的事儿,反正我相信郭大神,我只管等着,等着到时候尽情呐喊就好了!”
“就是,这世界上就没有郭大神解决不了的问题。”
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