华东所已经能够制造出稳定的用于光刻的135n极紫外光了,但整个光源系统不是那么简单能搞定的。
光源系统、光学透镜和反射镜国内没有能够达到相应精度的供应商,而我们对控制系统的开发也还远远的不够,阿斯麦的光刻机控制系统也是某国在做的。”
“如果这三大系统问题我都能够解决,你们能够在一年内搞定euv光刻机的设计制造吗?”郭一问道。
何明来的时候做好了一切准备,但他实在没想到郭一会这么问。
三大核心系统他都能解决?这……
能不能在一年之内搞定euv?
这个他还真的不知道,三大系统确实是核心,但是光刻机的其他部件都简单了吗?
阿斯麦的euv光刻机,每台有超过10万个零件,加上3千条电线、4万个螺栓及2公里长的软管等零组件,最大重量达180吨,每次运输必要动用40个货柜、20辆卡车,并3架次货机才能运完。
这样的一个庞大到无法想象的系统能简单的了吗?
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