郭一连续好几天都在a1厂出没,寻找这可以提升芯片制造工艺的关键点。
材料热膨胀相互的影响,光的衍射对于光刻的影响,线宽控制的几个常规改进,光学近距效应修正,硅片平台水平控制的关键因素,光刻胶涂胶工艺的改进……
……
随着每天在工厂观摩推演芯片制造的整个流程,郭一的小本本上记满了各种可以对工艺有明显改进的方法。
“安叔,召集工程师们,开会。”
郭一虽然不喜欢开会,但是必须开的会还是要开,有些事儿必须亲自交代。
这些天,记录的这些工艺进程改进绝对足以满足工艺的改进需求,但具体的操作还需要这些工程师们去做。
还有一点就是,魔都微电子的这台光刻机的控制精度根本无法满足郭一的控制需求,必须对其控制系统进行改进才可以。
控制系统的改进,换成其他人根本就不可能,魔都微电子也不可能把控制系统的源代码公开。但对于郭一来说,这根本不算大问题,通过推演,他能反编译出所有的项目代码,然后找出其中的性能瓶颈点。
按照郭一的想法,这台光刻机的硬件也有短板,明明光源都是193n波长的深紫外光,为什么阿斯麦就可以生产出14n甚至的duv光刻机?
而魔都微电子还只能生产90n,28n什么时候能够真正出货还不知道呢,问题究竟出在哪儿?
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