这其中的问题郭一也发觉了一些，他甚至动了改造光刻机的想法。

        “最严重的问题是光学元件，透镜的质量太差，其他的问题虽然也很多，但是都还好，并不是很难解决。”

        郭一推演了一番，得出了这样的结论。

        透镜相差是一个很复杂的问题，在所有相差中，球面像差、彗形像差、和像场弯曲是最常见的。

        严重的球差会影响掩膜版误差因子和能量裕度。

        彗差补给你会造成图形跟设计位置有唯一误差，还会影响硅片上的线宽，影响成像质量。

        场像弯曲影响焦深，对某些对焦深敏感的差门电路影响简直就是致命的。

        “没办法啊！”郭一摇了摇头，他这个时候总不能再把光刻机拆了，然后把透镜换了吧？

        就算他想换，国内也没有哪家企业能生产。

        光刻机的研发之所以那么难，最大的难点之一就在于这个光学镜头。光刻机所需要的元件，标准要求都非常高。

        像阿斯麦的光刻机光学镜头就是卡尔蔡司提供的，卡尔蔡司是一家德国企业，而卡尔蔡司这种镜头的生产设备则是美国企业供应的。

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