其目的就是为了冲抵另一个过程造成的误差，这是一种冲抵矫正方案。

        完成了自己的工作之后，何兴又仔细的研究了一遍整体的方案，还是没有发现任何的端倪。

        在现有的光刻机条件下，这样的改造确实提升不了生产工艺和良率，反倒会增加曝光后图形的偏差。

        “等等！现有的光刻机条件？”何兴突然意识到了什么：“郭工现在可是不在啊，他干什么去了？莫非……”

        一个大胆的念头从何兴的脑海里冒了出来：那就是升级光刻机！

        升级硬件当然是不可能的，但升级软件……

        “光学临近效应引起的图像偏差问题！”何兴立即意识到问题的关键所在。

        他一直在a1厂，这台光刻机他可以说是了如指掌，光刻机的控制程序确实有可以升级的空间，他们一直也跟厂家有反馈。

        但，那都是小打小闹似的升级。

        内容未完，下一页继续阅读