新科学时代第116章 对光源系统的改进 (6 / 6)(1/2)
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        “如果,彻底改造控制程序,进一步修正193n极限工艺下的邻近效应导致的曝光图像偏差问题……”

        何兴脑洞大开,有了这样的想法,即便知道没什么可能,他还是立即对这个方案进行了计算验证。

        不计算还好,这一计算,何兴是直接被惊到了——郭一的改造方案竟然真的是照着这个思路再走!

        换言之,郭一的改造方案就是这个!

        “他竟然真的能够进一步改进光学邻近效应引起的图像偏差?”

        看着最终的计算的数据竟然如此吻合,何兴也是直接瘫在了椅子上:

        “他也不是生产光刻机的专家啊,这可能吗这?这要让魔都微电子知道了,他们不得疯掉啊!这哪是改进生产工艺啊,这直接是改造光刻机了都!”

        即便何兴不是光刻机的专业人士,他也知道光刻机最大的两个核心部件,一个就是镜头,另一个就是光源。

        光源最核心的问题,其实就是修正这个光学临近效应引起的图像偏差。

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