“你们看着芯片微观切面图,”林志豪说道:“你们觉得误差有多少?”
“光的波长越长,衍射效应是越明显的,在光刻的过程当中,图像的边界就会越来越模糊,如果不进行修正,193n的深紫外光,是无法制造的。”
林志豪接着说道:
“我们自己的一代制程工艺采用了非常先进的曝光修正算法,大大的提高了良品率。但是,你们看到了没,拜仁的整个微观切面,这图像边界有一点点不清晰吗?”
“难不成,他们还能做到百分之百的修正?”立即就有人置疑道。
“我不知道,原始的设计是怎么样的我们看不到,也不清楚。”林志豪接着说道:“我们能看到的就只有这个图,别的我不敢保证,仅仅从这个图来看,边界几乎可以认为是百分之百。”
林志豪这么一说,原本就非常不淡定的台积电工程师们就更加的不淡定了:几乎百分之百,啥意思?
任何的机器都不可避免的会有系统误差和测量误差,几乎百分之百,那实际就是百分之百!
“这也是我之前我为什么说拜仁有能力利用duv制造5n的关键之所在。”林志豪接着说道:“不能以常理衡量他们啊!”
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