林志豪说这话的时候，心里也是十分不解，也在感慨着：他们就究竟是怎么做到的啊！就凭那个系统内多偏差相互作用修正的全新工艺？

        林志豪想不明白：

        按道理，台积电当初利用深紫外duv量产时的曝光补偿和修正算法已经极为先进了，但也完全没法做到拜仁这样几乎完美的修正效果！

        这简直就是一件不可思议的事情，难道他们这个所谓的全新工艺还能让光的衍射现象消失不成？

        即便那样也不对啊，热膨胀也还是会造成图像显影误差。

        林志豪昨天想了一夜，也没想出来个所以然来。

        至于用误差消弭误差，最终达到没有误差的效果，林志豪不是没想过，但这也根本不可能啊！

        这对控制系统的精密性要求太高了，阿斯麦现在最先进的光刻机由某国提供的控制系统都做不到，就更不用说大陆资产的落后光刻机了。

        “他们究竟是怎么做到的？！”林志豪摇了摇头脑袋，再一次的发出这样的感慨。

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